MEMS reliability : metrology set-up for investigation of fatigue causes - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

MEMS reliability : metrology set-up for investigation of fatigue causes

O. Millet
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 883145
O. Blanrue
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00125627

Soumis le : lundi 22 janvier 2007-10:27:49

Dernière modification le : vendredi 22 novembre 2024-16:46:27

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00125627 , version 1 (22-01-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00125627 , version 1

Citer

O. Millet, O. Blanrue, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot. MEMS reliability : metrology set-up for investigation of fatigue causes. 2005, pp.483-486. ⟨hal-00125627⟩

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