Structure and composition of Ti x Al 1-x N thin films sputter deposited using a composite metallic target. - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Surface and Coatings Technology Année : 2002
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Dates et versions

hal-00098385 , version 1 (25-09-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00098385 , version 1

Citer

Jean Yves Rauch, Christophe Rousselot, Nicolas Martin. Structure and composition of Ti x Al 1-x N thin films sputter deposited using a composite metallic target.. Surface and Coatings Technology, 2002, 157, pp.138-143. ⟨hal-00098385⟩
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