Oral : "Plasma enhanced CVD layers analysed by ellipsometry coupled with vapour adsorption" - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Oral : "Plasma enhanced CVD layers analysed by ellipsometry coupled with vapour adsorption"

V. Rouessac
Institut Européen des membranes
CV
A. Ayral
  • Fonction : Auteur
Institut Européen des membranes
J. Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1104751
Institut Européen des membranes

Nathalie Bonneval  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00083107

Soumis le : jeudi 29 juin 2006-15:10:46

Dernière modification le : lundi 17 juin 2024-09:09:41

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Dates et versions

hal-00083107 , version 1 (29-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00083107 , version 1

Citer

V. Rouessac, A. Ayral, J. Durand. Oral : "Plasma enhanced CVD layers analysed by ellipsometry coupled with vapour adsorption". 15th International Colloquium on Plasma Processes - June 5-9, 2005, 2005, Autrans, France. ⟨hal-00083107⟩

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