Communication Dans Un Congrès
Année : 2005
Nathalie Bonneval : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00083070
Soumis le : jeudi 29 juin 2006-14:06:59
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00083070 , version 1
Citer
V. Rouessac. "Precursors chemistry for ULK CVD". MAM2005 : Materials for Advanced Metallization - March 6-9, 2005, 2005, Dresde, Germany. ⟨hal-00083070⟩
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