"Precursors chemistry for ULK CVD" - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

"Precursors chemistry for ULK CVD"

V. Rouessac
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00083070 , version 1 (29-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00083070 , version 1

Citer

V. Rouessac. "Precursors chemistry for ULK CVD". MAM2005 : Materials for Advanced Metallization - March 6-9, 2005, 2005, Dresde, Germany. ⟨hal-00083070⟩
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