Communication Dans Un Congrès
Année : 2006
Nathalie Bonneval : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00080150
Soumis le : mercredi 14 juin 2006-17:06:14
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00080150 , version 1
Citer
W. Puyrenier, L. Broussous, A. Ayral, V. Rouessac, C. Pernel. Affiche : "Pore-sealing study by ellipsometric porosimetry on a porous low k - effect of plasma tretaments and wet cleaning". Materials for Advanced Metallization Conference 2006, 2006, Grenoble, France. ⟨hal-00080150⟩
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