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Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Affiche : "Pore-sealing study by ellipsometric porosimetry on a porous low k - effect of plasma tretaments and wet cleaning"

W. Puyrenier
  • Fonction : Auteur
L. Broussous
  • Fonction : Auteur
V. Rouessac
C. Pernel
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00080150 , version 1 (14-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00080150 , version 1

Citer

W. Puyrenier, L. Broussous, A. Ayral, V. Rouessac, C. Pernel. Affiche : "Pore-sealing study by ellipsometric porosimetry on a porous low k - effect of plasma tretaments and wet cleaning". Materials for Advanced Metallization Conference 2006, 2006, Grenoble, France. ⟨hal-00080150⟩
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