Affiche : "Characterization of the impact of plasma treatments and wet cleaning on a porous low k material" - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Affiche : "Characterization of the impact of plasma treatments and wet cleaning on a porous low k material"

W. Puyrenier
  • Fonction : Auteur
V. Rouessac
L. Broussous
  • Fonction : Auteur
D. Rebiscoul
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00080070 , version 1 (14-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00080070 , version 1

Citer

W. Puyrenier, V. Rouessac, L. Broussous, D. Rebiscoul, A. Ayral. Affiche : "Characterization of the impact of plasma treatments and wet cleaning on a porous low k material". MAM 2006, 2006, Grenoble, France. ⟨hal-00080070⟩
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