"Precursor chemistry for ULK CVD" - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2005

"Precursor chemistry for ULK CVD"

V. Rouessac
L. Favennec
  • Fonction : Auteur
B. Remiat
  • Fonction : Auteur
V. Jousseaume
  • Fonction : Auteur
G. Passemard
  • Fonction : Auteur

Domaines

Chimie

Dates et versions

hal-00080019 , version 1 (14-06-2006)

Identifiants

Citer

V. Rouessac, L. Favennec, B. Remiat, V. Jousseaume, G. Passemard, et al.. "Precursor chemistry for ULK CVD". Microelectronic Engineering, 2005, 82, pp.333-340. ⟨10.1016/j.mee.2005.07.071⟩. ⟨hal-00080019⟩
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