Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Electronics Letters Année : 1996

Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate

Résumé

GaAs micromachining technology was used for fabricating coplanar transmission lines on Si3N4 and polyimide membranes deposited on GaAs substrates. On-wafer measurements of scattering parameters up to 75 GHz for several line configurations show a constant phase velocity of 2.9E8 m/s and a predominance of metallic losses with a square root frequency dependence.

Domaines

Autre
Fichier sous embargo
Fichier sous embargo
Date de visibilité indéterminée

Dates et versions

hal-00076886 , version 1 (31-05-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00076886 , version 1

Citer

Patrice Salzenstein, Olivier Dupuis, Mohamed Helal, Eric Lheurette, Olivier Vanbésien, et al.. Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate. Electronics Letters, 1996, 32, pp.821-822. ⟨hal-00076886⟩
40 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More