Article Dans Une Revue
Integr. Ferroelectrics
Année : 2005
Christine Froidevaux : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00019721
Soumis le : lundi 27 février 2006-10:43:34
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:25
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00019721 , version 1
Citer
Patrick Delobelle, E. Fribourg-Blanc, Olivier Guillon, S. Soyer, Eric Cattan, et al.. Determination by nanoindentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMS applications. Integr. Ferroelectrics, 2005, 69, pp. 213-221. ⟨hal-00019721⟩
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