Determination by nanoindentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMS applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Integr. Ferroelectrics Année : 2005
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00019721 , version 1 (27-02-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00019721 , version 1

Citer

Patrick Delobelle, E. Fribourg-Blanc, Olivier Guillon, S. Soyer, Eric Cattan, et al.. Determination by nanoindentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMS applications. Integr. Ferroelectrics, 2005, 69, pp. 213-221. ⟨hal-00019721⟩
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