Cette thèse porte sur la conception et la caractérisation de micro-dispositifs à ondes acoustiques multicouches. La cinquième génération de communication (5G) nécessite des résonateurs acoustiques plus performants (fréquences > 3GHz, bande passante plus large). Dans ce contexte, nous avons conçu et optimisé par simulation FEM la géométrie de résonateurs à ondes de Lamb à base d’AlScN. Le dispositif final, constitué d’une couche composée de 30% de Sc et déposée sur un miroir de Bragg W/SiO2, montre d’excellentes performances (coefficient de couplage de 5% et facteur de qualité de 768) et un bon accord avec la simulation. Pour caractériser la surface de BAW et SAW sur la gamme de fréquence 5G, nous avons également conçu et développé un interféromètre hétérodyne. Ce dernier a été utilisé avec succès pour caractériser des vibrations de surface d'une amplitude comprise entre 1 et 10 pm à 5,95 GHz. Par ailleurs, grâce à leur robustesse et leur capacité à être interrogé sans-fil, les capteurs SAW sont utilisés dans des environnements difficiles et suscitent un grand intérêt pour les applications médicales et de contrôle de santé intégré. Récemment, l’introduction d’empilements multi-matériaux offre de nouvelles opportunités de développements. Nous avons ainsi étudié un capteur de pression composé de deux couches complémentaires, ainsi qu'un capteur dit package-less utilisant des couches d’impédances acoustiques différentes. Pour concevoir ces nouveaux capteurs, nous avons développé un outil de simulation reposant sur l'extraction de paramètres de couplage de modes et tenant compte des effets de la température, des contraintes et des déformations pour estimer leur sensibilité.