Dépôt et Caractérisation de Couches Minces Diélectriques La-Ti-O-N.
Y. Lu
,
D. Benzeggouta
(1, 2)
,
H. Nguyen
,
Ratiba Benzerga
,
C. Le Paven
,
L. Le Gendre
,
A. Sharaiha
,
C. Delaveaud
,
Ian Vickridge
(1, 2)
,
F. Tessier
,
François Cheviré
Y. Lu
- Fonction : Auteur
H. Nguyen
- Fonction : Auteur
- PersonId : 755296
- ORCID : 0000-0003-2524-7790
Ratiba Benzerga
- Fonction : Auteur
- PersonId : 835208
C. Le Paven
- Fonction : Auteur
L. Le Gendre
- Fonction : Auteur
A. Sharaiha
- Fonction : Auteur
C. Delaveaud
- Fonction : Auteur
Ian Vickridge
- Fonction : Auteur
- PersonId : 13477
- IdHAL : ian-vickridge
- ORCID : 0000-0002-1817-3378
- IdRef : 164664602
F. Tessier
- Fonction : Auteur
François Cheviré
- Fonction : Auteur
- PersonId : 5145
- IdHAL : francois-chevire
- ORCID : 0000-0002-5605-6113
- IdRef : 082987386