Influence de la structure des électrodes interdigitées sur les micro-générateurs piézoélectriques - Archive ouverte HAL Access content directly
Conference Poster Year :

Influence de la structure des électrodes interdigitées sur les micro-générateurs piézoélectriques

(1) , (1) , (1) , (1) , (2)
1
2

Abstract

Dans le cadre des projets N-air-J, financé par le pays de la Loire, et du projet MIGAC financé par le RFI WISE, des micro-générateurs piézoélectriques avec une structure à électrodes interdigitées (IDE) [1], [2] (fig 1-a) ont été développés au sein de l’Institut d’Électronique et de Télécommunications de Rennes (IETR). L’objectif étant d’étudier la possibilité d’alimenter en énergie des micros système sans fil, tels que des réseaux de capteurs à partir de l’énergie mécanique d’un simple courant d’air en utilisant des couches minces piézoélectriques. Pour cela, des films minces de titanate de zirconate de plomb (PZT) ont été préparés à l'aide d'un dépôt chimique sur un substrat métallique flexible : une feuille d'aluminium (Al) [3]. Pour réaliser la structure IDE, les films de PZT doivent être séparés du plan de masse en aluminium. La solution utilisée consiste à transférer par voie chimique le film mince de PZTsur un substrat polymère de polytéréphtalate d’éthylène (PET). Dans cette présentation est décrit le procédé de fabrication du micro-générateur en structure IDE, ainsi que l’influence de la structure de l’électrode sur la récupération d’énergie. Ces films, étant réalisés pour des applications de récupération d’énergie, ils ont été caractérisés à des fréquences d’excitations très faibles (quelque Hertz). L’utilisation d’une structure IDE permet d’augmenter l’espace entre les électrodes, ce qui a pour effet de diminuer la capacité linéaire du générateur piézoélectrique (autour de 50 pF), permettant ainsi d’obtenir une densité d'énergie électrique plus élevée qu’avec une structure classique Métal-Isolant-Métal (MIM). Les résultats de simulations de champ électrique, obtenus avec le logiciel HFSS, dans le micro-générateur avec les électrodes interdigitées montrent une bonne densité du champ dans la couche active en PZT.
Not file

Dates and versions

hal-02108527 , version 1 (24-04-2019)

Identifiers

  • HAL Id : hal-02108527 , version 1

Cite

Julien Le Scornec, Mohammed El Gibari, Raynald Seveno, Benoit Guiffard, Vincent Le Cam. Influence de la structure des électrodes interdigitées sur les micro-générateurs piézoélectriques. COFMER'03 - Colloque franco-maghrébin sur les énergies renouvelables, Apr 2019, Marrakech, Maroc. . ⟨hal-02108527⟩
110 View
0 Download

Share

Gmail Facebook Twitter LinkedIn More