Structure and electronic properties of reactively RF magnetron sputtered ABO2N oxynitride thin films
Laurent Le Gendre
(1)
,
Claire Le Paven-Thivet
(1)
,
Florent Marlec
(1)
,
Ratiba Benzerga
(1)
,
Anthony Ferri
(2)
,
Didier Fasquelle
(3)
,
Vincent Laur
(4)
,
Simon Jacq
(1)
,
Franck Tessier
(5)
,
François Cheviré
(5)
,
Sébastien Saitzek
(2)
,
Rachel Desfeux
(2)
,
Ala Sharaiha
(1)
Laurent Le Gendre
- Function : Author
- PersonId : 834293
Claire Le Paven-Thivet
- Function : Author
- PersonId : 936698
Florent Marlec
- Function : Author
- PersonId : 18463
- IdHAL : florent-marlec
- ORCID : 0000-0003-1431-7802
- IdRef : 23153812X
Ratiba Benzerga
- Function : Author
- PersonId : 835208
Anthony Ferri
- Function : Author
- PersonId : 16654
- IdHAL : anthony-ferri
- ORCID : 0000-0002-9162-2715
- IdRef : 136536182
Vincent Laur
- Function : Author
- PersonId : 745375
- IdHAL : vincent-laur
- ORCID : 0000-0002-2017-5233
- IdRef : 235761753
Franck Tessier
- Function : Author
- PersonId : 9235
- IdHAL : franck-tessier
- ORCID : 0000-0002-1253-7011
- IdRef : 082987459
François Cheviré
- Function : Author
- PersonId : 5145
- IdHAL : francois-chevire
- ORCID : 0000-0002-5605-6113
- IdRef : 082987386
Sébastien Saitzek
- Function : Author
- PersonId : 16687
- IdHAL : sebastien-saitzek
- ORCID : 0000-0003-1403-5397
- IdRef : 108496228
Rachel Desfeux
- Function : Author
- PersonId : 17005
- IdHAL : rachel-desfeux
- ORCID : 0000-0002-0629-3671
- IdRef : 136536441