Road for macroporous silicon stabilization by ultrathin ALD TiO 2 coating. - Groupe de Recherche en Electronique, Matériaux, Acoustique et Nanotechnologies
Article Dans Une Revue Materials Advances Année : 2024

Road for macroporous silicon stabilization by ultrathin ALD TiO 2 coating.

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Bachar Al Chimali, Irene Carrasco, Romain Dailleau, Lisa Monnier, Kaushik Baishya, et al.. Road for macroporous silicon stabilization by ultrathin ALD TiO 2 coating.. Materials Advances, 2024, ⟨10.1039/D4MA00654B⟩. ⟨hal-04751998⟩

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