Search - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Access content directly

Filter your results

61 Results
Document type : Theses
Image document

Etude des interactions plasma–surface pendant la gravure du silicium dans des plasmas HBr/Cl2/O2

Martin Kogelschatz
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2004. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00009005v1
Image document

Etude de de l'intégration 3D et des propriétés physiques de nanofils de silicium obtenus par croissance. Réalisation de capacités ultra-denses

Paul-Henry Morel
Autre. Université de Grenoble, 2011. Français. ⟨NNT : 2011GRENT071⟩
Theses tel-00858497v1
Image document

Caractérisation, mécanismes et applications mémoire des transistors avancés sur SOI

Sungjae Chang
Autre. Université de Grenoble, 2013. Français. ⟨NNT : 2013GRENT056⟩
Theses tel-00951428v1
Image document

Matériaux et Dispositifs optoélectroniques pour la génération et la détection de signaux THz impulsionnels par photocommutation à 1,55µm

Benjamin Patin
Autre. Université de Grenoble, 2013. Français. ⟨NNT : 2013GRENT076⟩
Theses tel-00954635v1
Image document

Lithographie de nouvelle génération par nanoimpression assistée par UV: étude et développement de matériaux et procédés pour l'application microélectronique

Pauline Voisin
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00180907v1
Image document

Ingénierie de mode en optique intégrée sur silicium sur isolant

Philippe Velha
Physique Atomique [physics.atom-ph]. Université Paris Sud - Paris XI, 2008. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00292092v1
Image document

Epitaxies Si/SiGe(C) pour transistors bipolaires avancés

Florence Brossard
Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00200095v1
Image document

Etude et caractérisation des films minces lors du procédé de lithographie par nanoimpression

Frederic Lazzarino
Physique [physics]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2005. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00128711v1
Image document

Conception, montage et caractérisation d'un interféromètre achromatique pour l'étude de la lithographie à immersion à 193nm

Anne-Laure Charley
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Institut National Polytechnique de Grenoble - INPG, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00147894v1
Image document

Développement de la scatterométrie dynamique pour le suivi en temps réel de procédés. Application à la microélectronique.

Sébastien Soulan
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2008. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00340093v1
Image document

Simulation électromagnétique utilisant une méthode modale de décomposition en ondelettes

Ana Maria Armeanu
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Grenoble, 2011. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00690418v1
Image document

Influence des défauts enterrés dans les masques pour la lithographie Extreme Ultra Violet

Vincent Farys
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00135902v1
Image document

Croissance de diélectrique à forte permittivité par la technique MOCVD en phase liquide pulsée : Elaboration, et caractérisation de films de HfO2.

Karen Dabertrand
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00130390v1
Image document

Les Procédés par Plasmas Impliqués dans l'Intégration des Matériaux SiOCH Poreux pour les Interconnexions en Microélectronique

Maxime Darnon
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00181477v1
Image document

Etudes morphologiques et cinétiques de l'élaboration de nano-objets cristallins (Si & SiGe) par RTCVD

Clément Pribat
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2010. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00517869v1
Image document

Caractérisation et analyse du couplage substrat entre le TSV et les transistors MOS dans les circuits intégrés 3D.

Mélanie Brocard
Autre. Université de Grenoble, 2013. Français. ⟨NNT : 2013GRENT049⟩
Theses tel-00954178v1
Image document

Propriétés optiques de colloïdes assemblés : plasmonique et confinement diélectrique

Olivier Lecarme
Optique / photonique. Université de Grenoble, 2011. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00673254v1
Image document

Élaboration et caractérisation large bande de matériaux "high-k" en structure "MIM

Thomas Bertaud
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Institut National Polytechnique de Grenoble - INPG, 2010. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00555345v1
Image document

Étude par microscopie à force atomique en trois dimensions de l'évolution de la rugosité de bord de ligne lors de la fabrication d'une grille de transistor MOS

Jérôme Thiault
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00321961v1
Image document

Étude des propriétés électroniques et des propriétés de transport de nanofils semiconducteurs et de plans de graphène.

Aurélien Lherbier
Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2008. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00373512v1
Image document

Etude et caractérisation avancées des procédés plasma pour les technologies sub - 0.1 µm

David Fuard
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université d'Orléans, 2003. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00006610v1
Image document

Étude de l'intégration des matériaux à très faible permittivité diélectrique dans une structure damascène pour les filières technologiques CMOS

Nicolas Posseme
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Grenoble, 2005. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00685803v1
Image document

Nanocristaux pour les mémoires flash : multicouches, métalliques et organisés

Guillaume Gay
Autre. Université de Grenoble, 2012. Français. ⟨NNT : 2012GRENT087⟩
Theses tel-00843133v1
Image document

Traitements plasmas Post Gravure pour l'intégration des matériaux SiOCH poreux dans les interconnexions en microélectronique

Régis Bouyssou
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Grenoble, 2009. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00679654v1
Image document

Développement des techniques de scatterométrie en temps réel pour le suivi des procédés de gravure plasma

Mohamed El Kodadi
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Grenoble, 2010. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00670095v1
Image document

Nanofils de Silicium : Dépôt chimique en phase vapeur assisté par catalyseurs métalliques et prémices d'intégration.

Florian Dhalluin
Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2009. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00495316v1
Image document

Propriétés électriques à l'échelle nanométrique des diélectriques dans les structures MIM et MOS

Cédric Sire
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2009. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00442919v1
Image document

Développement de la scatterométrie dynamique pour le suivi en temps réel de procédés. Application à la microélectronique.

Sébastien Soulan
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2008. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00340093v2
Image document

Développement de techniques de fabrication collectives de dispositifs électroniques à nanostructure unique.

Jamal Tallal
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00197851v1
Image document

Développement de méthodes génériques de corrélation entre les mesures électriques & physiques des composants et les étapes élémentaires de fabrication

Cyril Alegret
Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses tel-00122893v1