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Etude des interactions plasma–surface pendant la gravure du silicium dans des plasmas HBr/Cl2/O2
Martin Kogelschatz
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2004. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00009005v1
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Etude de de l'intégration 3D et des propriétés physiques de nanofils de silicium obtenus par croissance. Réalisation de capacités ultra-denses
Paul-Henry Morel
Theses
tel-00858497v1
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Caractérisation, mécanismes et applications mémoire des transistors avancés sur SOI
Sungjae Chang
Theses
tel-00951428v1
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Matériaux et Dispositifs optoélectroniques pour la génération et la détection de signaux THz impulsionnels par photocommutation à 1,55µm
Benjamin Patin
Theses
tel-00954635v1
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Lithographie de nouvelle génération par nanoimpression assistée par UV: étude et développement de matériaux et procédés pour l'application microélectronique
Pauline Voisin
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00180907v1
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Ingénierie de mode en optique intégrée sur silicium sur isolant
Philippe Velha
Physique Atomique [physics.atom-ph]. Université Paris Sud - Paris XI, 2008. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00292092v1
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Epitaxies Si/SiGe(C) pour transistors bipolaires avancés
Florence Brossard
Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00200095v1
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Etude et caractérisation des films minces lors du procédé de lithographie par nanoimpression
Frederic Lazzarino
Physique [physics]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2005. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00128711v1
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Conception, montage et caractérisation d'un interféromètre achromatique pour l'étude de la lithographie à immersion à 193nm
Anne-Laure Charley
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Institut National Polytechnique de Grenoble - INPG, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00147894v1
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Développement de la scatterométrie dynamique pour le suivi en temps réel de procédés. Application à la microélectronique.
Sébastien Soulan
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2008. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00340093v1
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Simulation électromagnétique utilisant une méthode modale de décomposition en ondelettes
Ana Maria Armeanu
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Grenoble, 2011. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00690418v1
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Influence des défauts enterrés dans les masques pour la lithographie Extreme Ultra Violet
Vincent Farys
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00135902v1
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Croissance de diélectrique à forte permittivité par la technique MOCVD en phase liquide pulsée : Elaboration, et caractérisation de films de HfO2.
Karen Dabertrand
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00130390v1
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Les Procédés par Plasmas Impliqués dans l'Intégration des Matériaux SiOCH Poreux pour les Interconnexions en Microélectronique
Maxime Darnon
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00181477v1
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Etudes morphologiques et cinétiques de l'élaboration de nano-objets cristallins (Si & SiGe) par RTCVD
Clément Pribat
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2010. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00517869v1
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Caractérisation et analyse du couplage substrat entre le TSV et les transistors MOS dans les circuits intégrés 3D.
Mélanie Brocard
Theses
tel-00954178v1
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Propriétés optiques de colloïdes assemblés : plasmonique et confinement diélectrique
Olivier Lecarme
Optique / photonique. Université de Grenoble, 2011. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00673254v1
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Élaboration et caractérisation large bande de matériaux "high-k" en structure "MIM
Thomas Bertaud
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Institut National Polytechnique de Grenoble - INPG, 2010. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00555345v1
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Étude par microscopie à force atomique en trois dimensions de l'évolution de la rugosité de bord de ligne lors de la fabrication d'une grille de transistor MOS
Jérôme Thiault
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00321961v1
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Étude des propriétés électroniques et des propriétés de transport de nanofils semiconducteurs et de plans de graphène.
Aurélien Lherbier
Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2008. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00373512v1
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Etude et caractérisation avancées des procédés plasma pour les technologies sub - 0.1 µm
David Fuard
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université d'Orléans, 2003. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00006610v1
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Étude de l'intégration des matériaux à très faible permittivité diélectrique dans une structure damascène pour les filières technologiques CMOS
Nicolas Posseme
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Grenoble, 2005. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00685803v1
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Nanocristaux pour les mémoires flash : multicouches, métalliques et organisés
Guillaume Gay
Theses
tel-00843133v1
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Traitements plasmas Post Gravure pour l'intégration des matériaux SiOCH poreux dans les interconnexions en microélectronique
Régis Bouyssou
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Grenoble, 2009. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00679654v1
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Développement des techniques de scatterométrie en temps réel pour le suivi des procédés de gravure plasma
Mohamed El Kodadi
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Grenoble, 2010. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00670095v1
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Nanofils de Silicium : Dépôt chimique en phase vapeur assisté par catalyseurs métalliques et prémices d'intégration.
Florian Dhalluin
Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2009. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00495316v1
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Propriétés électriques à l'échelle nanométrique des diélectriques dans les structures MIM et MOS
Cédric Sire
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2009. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00442919v1
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Développement de la scatterométrie dynamique pour le suivi en temps réel de procédés. Application à la microélectronique.
Sébastien Soulan
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2008. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00340093v2
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Développement de techniques de fabrication collectives de dispositifs électroniques à nanostructure unique.
Jamal Tallal
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00197851v1
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Développement de méthodes génériques de corrélation entre les mesures électriques & physiques des composants et les étapes élémentaires de fabrication
Cyril Alegret
Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩
Theses
tel-00122893v1
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