Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2013
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00949974
Soumis le : jeudi 20 février 2014-15:06:48
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:17:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00949974 , version 1
Citer
B. Pelissier, L. Dussault, F. Dufaye, S. Gough, J. Hamonne, et al.. Investigation on full 6'' masks using innovative solutions for direct physico-chemical analyses of Mask backglass contamination and Haze. Microelectronic Engineering, 2013, 104, pp.120-129. ⟨hal-00949974⟩
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