Investigation on full 6'' masks using innovative solutions for direct physico-chemical analyses of Mask backglass contamination and Haze - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2013

Investigation on full 6'' masks using innovative solutions for direct physico-chemical analyses of Mask backglass contamination and Haze

L. Dussault
  • Fonction : Auteur
F. Dufaye
  • Fonction : Auteur
S. Gough
  • Fonction : Auteur
J. Hamonne
  • Fonction : Auteur
O. Chaix-Pluchery
  • Fonction : Auteur
P. Sergent
  • Fonction : Auteur
M. Tissier
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00949974 , version 1 (20-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00949974 , version 1

Citer

B. Pelissier, L. Dussault, F. Dufaye, S. Gough, J. Hamonne, et al.. Investigation on full 6'' masks using innovative solutions for direct physico-chemical analyses of Mask backglass contamination and Haze. Microelectronic Engineering, 2013, 104, pp.120-129. ⟨hal-00949974⟩
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