Communication Dans Un Congrès
Année : 2001
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00669574
Soumis le : lundi 13 février 2012-14:40:40
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00669574 , version 1
Citer
Corentin Vallée, F. Thièry, Y. Arnal, Y. Pauleau, J. Pelletier. Bias voltage waveform influence on the ion energy distribution and its consequence on the properties of a-C:H films obtained from C2H2 plasma. CIP 2001, Jun 2001, Antibes, France. ⟨hal-00669574⟩
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