Electrode oxygen affinity influence on high k MIM capacitors - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2010

Electrode oxygen affinity influence on high k MIM capacitors

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00669418 , version 1 (13-02-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00669418 , version 1

Citer

Corentin Vallée, P. Gonon, Corentin Jorel, F. El Kamel. Electrode oxygen affinity influence on high k MIM capacitors. Applied Physics Letters, 2010, 96, pp.233504. ⟨hal-00669418⟩
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