Scatterometric Porosimetry for porous low-k patterns characterization - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Scatterometric Porosimetry for porous low-k patterns characterization

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00647417 , version 1 (02-12-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00647417 , version 1

Citer

R. Hurand, R. Bouyssou, Maxime Darnon, C. Tiphine, C. Licitra, et al.. Scatterometric Porosimetry for porous low-k patterns characterization. Interconnect Technology Conference and Materials for Advanced Metallization (IITC/MAM), May 2011, Dresde, Germany. ⟨hal-00647417⟩
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