Sidewall Modification of Porous SiOCH Induced by Etching and Post Etching Plasma Treatments
R. Bouyssou
(1)
,
T. Chevolleau
(2)
,
M. El Kodadi
(2)
,
M. Besacier
(2)
,
N. Possémé
(3)
,
R. Hurand
(2)
,
T. David
(2, 3)
,
C. Licitra
,
Maxime Darnon
(2)
,
C. Vérove
,
O. Joubert
(2)
C. Licitra
- Fonction : Auteur
- PersonId : 761212
- ORCID : 0000-0002-4309-3310
Maxime Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
- IdRef : 124051758
C. Vérove
- Fonction : Auteur