Plasma treatments of HfO2 resistive RAM
C. Vallee
(1)
,
P. Gonon
(1)
,
C. Mannequin
(1)
,
T. Chevolleau
(1)
,
H. Grampeix
,
N. Rochat
,
C. Licitra
,
V. Jousseaume
(2)
H. Grampeix
- Fonction : Auteur
N. Rochat
- Fonction : Auteur
C. Licitra
- Fonction : Auteur
- PersonId : 761212
- ORCID : 0000-0002-4309-3310