Communication Dans Un Congrès
Année : 2004
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00488319
Soumis le : mardi 1 juin 2010-17:07:34
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00488319 , version 1
Citer
Corentin Vallée, C. Durand, M. Derivaz, Myrtil L. Kahn, M. Bonvalot. Roles of oxygen plasma and solvent in the interface formation during the pulsed-liquid injection PE-MOCVD deposition of Y2O3 in MIM and MOS structures. AVS, 51h National Symposium AVS, 2004, Anaheim, United States. ⟨hal-00488319⟩
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