Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00461102
Soumis le : mercredi 3 mars 2010-13:26:59
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:20:45
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00461102 , version 1
Citer
T. Bertaud, C. Bermond, T. Lacrevaz, Corentin Vallée, Y. Morand, et al.. Wideband frequency and in-situ characterization of ultra thin ZrO2 and HfO2 films for integrated MIM capacitors. MAM2009 (Grenoble), 2009, grenoble, France. ⟨hal-00461102⟩
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