Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00396830
Soumis le : vendredi 19 juin 2009-09:25:38
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:21:30
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00396830 , version 1
Citer
Corentin Vallée, Myrtil L. Kahn, E. Gourvest, M. Bonvalot, O. R. Joubert. Pulsed Plasma-enhanced CVD of Y2O3 in MIM capacitors. 54th National Symposium AVS, 2007, SEATTLE, United States. ⟨hal-00396830⟩
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