MIM capacitors using Y2O3 dielectric grown by pulsed-injection PE-MOCVD - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science and Technology Année : 2004
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00390407 , version 1 (02-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00390407 , version 1

Citer

C. Durand, Corentin Vallée, V. Loup, O. Salicio, C. Dubourdieu, et al.. MIM capacitors using Y2O3 dielectric grown by pulsed-injection PE-MOCVD. Journal of Vacuum Science and Technology, 2004, A 22 (3), pp.655-660. ⟨hal-00390407⟩
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