Improved electrical properties using SrTiO3/Y2O3 bilayer dieclectrics for MIM capacitors applications - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronics Reliability Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00390392 , version 1 (02-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00390392 , version 1

Citer

Myrtil L. Kahn, Corentin Vallée, E. Defay, C. Dubourdieu, M. Bonvalot, et al.. Improved electrical properties using SrTiO3/Y2O3 bilayer dieclectrics for MIM capacitors applications. Microelectronics Reliability, 2007, pp.47 (2007) 773-776. ⟨hal-00390392⟩
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