Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science and Technology
Année : 2006
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00385748
Soumis le : mercredi 20 mai 2009-09:25:03
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00385748 , version 1
Citer
N. Chaix, S. Landis, D. Hermelin, T. Leveder, C. Perret, et al.. Influence of mold depth on capillary bridges in nanoimprint lithography. Journal of Vacuum Science and Technology, 2006, B Nov/Dec (24(6)), pp.3011-3015. ⟨hal-00385748⟩
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