Influence of mold depth on capillary bridges in nanoimprint lithography - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science and Technology Année : 2006
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00385748 , version 1 (20-05-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00385748 , version 1

Citer

N. Chaix, S. Landis, D. Hermelin, T. Leveder, C. Perret, et al.. Influence of mold depth on capillary bridges in nanoimprint lithography. Journal of Vacuum Science and Technology, 2006, B Nov/Dec (24(6)), pp.3011-3015. ⟨hal-00385748⟩
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