Communication Dans Un Congrès
Année : 2006
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https://hal.science/hal-00203956
Soumis le : vendredi 11 janvier 2008-14:47:12
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:33
Dates et versions
Licence
Identifiants
- HAL Id : hal-00203956 , version 1
Citer
Tanguy Lévéder, Stéfan Landis, Laurent Davoust, Nicolas Chaix. Impact of planarization soft layers on full 200mm wafer imprinting uniformity. 5th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2006), Nov 2006, San Fransisco, United States. ⟨hal-00203956⟩
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