Caractérisation de capacités MIM Cu-Si3N4-Cu en technologie CMOS 0,12 µm pour des applications radiofréquences. - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Caractérisation de capacités MIM Cu-Si3N4-Cu en technologie CMOS 0,12 µm pour des applications radiofréquences.

Ph. Lombard
  • Fonction : Auteur
O. Exshaw
  • Fonction : Auteur
A. Farcy
  • Fonction : Auteur
J. Torres
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00147181 , version 1 (16-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00147181 , version 1

Citer

Ph. Lombard, Jean-Daniel Arnould, O. Exshaw, Ph. Benech, A. Farcy, et al.. Caractérisation de capacités MIM Cu-Si3N4-Cu en technologie CMOS 0,12 µm pour des applications radiofréquences.. Telecom'2005 & 4èmes Journées Franco-Maghrébines des Microondes et leurs Applications, 2005, RABAT, Morocco. pp.XX. ⟨hal-00147181⟩

Collections

UGA CNRS FMNT
129 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More