Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science & Technology A
Année : 2004
Catherine Dubourdieu : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00135475
Soumis le : mercredi 7 mars 2007-18:40:34
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Citer
C. Durand, Corentin Vallée, V. Loup, O. Salicio, C. Dubourdieu, et al.. Metal-Insulator-Metal capacitors using Y2O3 dielectric grown by pulsed-injection plasma enhanced metalorganic chemical vapor deposition. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2004, 22(3), pp.655. ⟨10.1116/1.1722633⟩. ⟨hal-00135475⟩
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