Electrical property improvements of yttrium oxide-based metal-insulator-metal capacitors
C. Durand
(1)
,
Corentin Vallée
(1)
,
C. Dubourdieu
(2)
,
Myrtil L. Kahn
(1)
,
M. Derivaz
(1)
,
S. Blonkowski
(3)
,
D. Jalabert
(4)
,
P. Holliger
(4)
,
Q. Fang
(5)
,
I.W. Boyd
(5)
1
LTM -
Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 UCL - Department of Electronic and Electrical Engineering and London Centre for Nanotechnology
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 UCL - Department of Electronic and Electrical Engineering and London Centre for Nanotechnology
Myrtil L. Kahn
- Fonction : Auteur
- PersonId : 753944
- IdHAL : myrtil-l-kahn
- ORCID : 0000-0003-3079-5759
- IdRef : 123598702